Генераторы высокой частоты и источники питания для технологического оборудования

Проектировались и разрабатывались мелкими партиями генераторы ВЧ для возбуждения плазмы и индуктивного нагрева. Мощности генераторов - от 0,4 до 60 кВт. Могут работать на емкостную или индуктивную нагрузку. Есть опыт стабилизации мощности в нагрузке.

Источники питания (мощностью до 100 кВт) предназначаются, в основном, для питания напылительного оборудования.